高精度气体混合配比柜

两元或多元需要混合的气体经过阀进入两级或多级压力平衡装置，平衡其输入压差，从而保证了混合前组分气体和稀释气体的压力绝对相同，然后调节流量控制阀，可将各种气体的流量依据希望达到的混气比例进行调定。

本产品原理上采用动态气体混合法，使用美国Veco高精度浓度测量仪进行测量，即混即用，从而保证了混合气体的均匀性，复现性优良，比例稳定。